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DIC 2024展商丨盛劍環境，高科技產業知名綠色科技服務商

2024-04-29 00:00:00

公司簡介

COMPANY

一上海盛劍環境系統科技股份有限公司一

盛劍環境logo透明.png

展位號：特6A03

上海盛劍環境系統科技股份有限公司（以下簡稱“公司”）創立于2005年，是中國高科技產業知名的綠色科技服務商，于2021年4月在上海證券交易所主板上市（股票代碼：603324）。

公司以“致力于美好環境”為企業使命，持續秉持“行業延伸+產品延伸”的發展方針，已形成“綠色廠務系統解決方案、半導體附屬裝備及核心零部件、電子化學品材料”主營業務三駕馬車。

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PRODUCT

廢氣處理裝置 Local Scrubber

展品圖片-1.廢氣處理裝置 Local Scrubber.png

Local Scrubber是為集成電路、半導體顯示、新能源等行業工藝制程中所產生的有毒有害副產物提供一個高效的氣體處理裝置，針對不同工藝副產物的化學性質和物理性質選用不同形式的處理方式。

干式真空泵 Vacuum Pump

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干式真空泵是指不使用油或液體進行密封的非接觸式真空泵。這種泵不會發生水和油的倒流和擴散，能夠獲得潔凈的真空環境。并且無需補充或更換水、油等定期維護作業，方便使用。

溫控設備 Chiller

溫控設備 (Chiller) 主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制 , 主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡循環裝置。

光刻膠剝離液

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剝離光刻膠效果好，對其它膜層無腐蝕，安全環保，回收率高。

蝕刻液

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可蝕刻 Cu/Ag/Al/Mo/Nb/Ti 等膜層，選擇比高。

① Cu蝕刻液：一劑型 / 兩劑型壽命高、安全穩定；

② Ag蝕刻液：磷酸系 / 非磷酸系、ITO/Ag/ITO一步刻蝕、無Al側刻。